electronica 2008 – Halle A.4, Stand 542

ALPS entwickelt piezoresistive MEMS-Drucksensoren zur Ermittlung des Absolutdrucks

HSPP-Serie – Weltweit kleinste Drucksensoren

Düsseldorf, 27. Oktober 2008 – Die ALPS ELECTRIC EUROPE GmbH bietet mit der HSPP-Serie die weltweit kleinsten1) piezoresistiven MEMS-Drucksensor-ICs zur präzisen Erfassung des Absolutdrucks mittels Barometer- und Höhensensoren. Die oberflächenmontierbaren Bauelemente sind als Kompakttyp (HSPAR) bzw. als Version mit Verstärker (HSPAA) erhältlich und zeichnen sich durch winzige Abmessungen (L x B x H) von 2,5 mm x 2,5 mm x 0,7 mm (HSPAR) bzw. 3,5 mm x 3,5 mm x 1,0 mm (HSPAA) aus. Der Messbereich liegt zwischen 50 kPa und 110 kPa. Die Drucksensoren arbeiten im Temperaturbereich von –20 °C bis +85 °C. Sie benötigen eine konstante Stromversorgung von 0,55 mA (HSPPAR) bzw. eine konstante Spannungsversorgung von 2,5 V ±0,125 V. Bei 110 kPa liegt ihre Ausgangsspannung bei 79 mV bzw. 1600 mV. Weitere technische Merkmale sind Offset-Temperaturcharakteristiken von -4 bis 6% FS, eine Genauigkeit der Temperaturmessung von -4 bis 4% FS, ein Brückenwiderstand von 4 bis 7 kΩ (HSPPAR) und eine Ausgangsimpedanz von 7 bis 13 kΩ (HSPPAA). Die HSPP-Serie ist die ideale Lösung zur Druckmessung in Mobiltelefonen, tragbaren Navigationsgeräten, Armbanduhren, Schrittzählern, etc. Der Einsatz von Drucksensoren wird immer umfangreicher und vielfältiger, sei es im Automobil, in der Medizin, der Industrie oder auch in Konsumgütern wie Waschmaschinen. Aufgrund der jüngsten Entwicklungen, tragbare Navigationsgeräte und Schrittzähler mit einer Funktion zur Höhenmessung auszustatten, steigt der Bedarf an kleineren und dünneren Drucksensoren für den Einbau in diesen kompakten tragbaren Geräten. ALPS langjähriges Know-how in Dünnfilmprozess-, Mikroproduktions- und Verpackungstechnologien ermöglichte es, die kleinsten, dünnsten piezoresistiven Drucksensoren ihrer Klasse zu entwickeln. Die Produktpalette der HSPP-Serie besteht aus zwei Sensorarten, die durch ihre Kompaktheit und Funktionalität einen höheren Freiheitsgrad bei der Entwicklung von Endgeräten gewährleisten. Beide Sensorarten sind für die Oberflächenmontage geeignet. Die Sensoren ermitteln die unterschiedlichen Drücke, indem sie elektrische Signale auslesen, die aus einer Änderung des elektrischen Widerstands resultieren. Diese Widerstandsänderung wird durch externen Druck auf eine Membrane erzeugt, die sich durchbiegt und ein piezoresistives Element verformt, das sich auf der Membrane befindet. Die Flexibilität der Membrane wirkt sich durch eine spezielle Konstruktion mit einem einzigen Element unmittelbar auf den elektrischen Widerstand des piezoresistiven Elements aus, weshalb diese Methode auch die ideale Lösung für Miniaturkomponenten ist. Mit Hilfe der proprietären Mikroproduktionstechnologie von ALPS konnten die Sensorelemente weiter verkleinert werden, was letztendlich zu kompakteren und dünneren Endprodukten führt. Die neuen Sensoren zeichnen sich infolge der stabilen Hohlraum2)-Konfiguration durch minimale Schwankungseigenschaften aus. Diese Konstruktion resultiert aus einer optimierten Ätztechnik, Si-Si-versiegelten Anschlüssen3), die die Auswirkungen externer Einflüsse auf die Bauteile verringern, und der Verwendung von keramischen Materialien, die resistent gegen Temperaturschwankungen sind. 1) Stand 31. August 2008 2) Bezieht sich auf die interne Hohlraumstruktur der Elemente. Ein Vakuum wird intern aufrechterhalten. 3) Eine Technologie, die Silizium-Materialien verbindet. Das Vakuum wird auf der Basis von starken Verbindungscharakteristiken erhalten. Weitere Informationen über die neuen Produkte finden Sie unter: http://www3.alps.com/e/npv_product/1021_HSPP/HSPP_E.PDF

ALPS Electric Co., Ltd. Seit seiner Gründung im Jahr 1948 hat sich ALPS zu einem der führenden Hersteller von elektronischen Komponenten entwickelt. Derzeit produziert ALPS in seinen Hauptgeschäftsfeldern – Komponenten, magnetische Bauteile, Kommunikation, Peripherieprodukte und Automobilelektronik – innovative Produkte mit hohem Zusatznutzen, die zum Fortschritt in einer digitalen Gesellschaft beitragen. ALPS ist ein weltweit tätiges Unternehmen mit 23 Produktionsstätten in neun Ländern und 57 Vertriebsniederlassungen in 14 Ländern. Der konsolidierte Nettoumsatz für das am 31. März 2008 zu Ende gegangene Geschäftsjahr beträgt 693 Milliarden Yen. ALPS ELECTRIC EUROPE GmbH, Tochterunternehmen der ALPS Electric Co., Ltd., wurde 1979 gegründet. Seit 1989 hat das europäische Head Office seinen Sitz in Düsseldorf. Hier arbeitet ein Team von Spezialisten aus Verkauf, Marketing und Produktingenieurwesen. Von Düsseldorf aus werden die Aktivitäten der Niederlassungen in München, Paris und Milton Keynes, des Vertriebsbüros in Mailand sowie des europäischen Vertriebs koordiniert. ALPS Nordic AB, eine 100%ige Tochter der ALPS ELECTRIC EUROPE GmbH mit Sitz in Schweden, bietet Dienstleistungen für den skandinavischen Markt an.